НОЦ "Нанотехнологии" 

Научно-образовательный центр по направлению «Нанотехнологии» (Наноцентр) является структурным подразделением Национального исследовательского ядерного университета «МИФИ» работает по направлению исследований и разработок новых материалов, технологий в области микро- и наноэлектроники.
Наноцентр сегодня по праву является одним из самых высокотехнологичных подразделений НИЯУ МИФИ. Он состоит из нескольких лабораторий с 14-ю участками класса чистоты ISO6-ISO8, включающих технологическое, измерительное и исследовательское оборудование. В центре обеспечивается непрерывность исследовательского процесса и опытной технологии на полномасштабной линейке технологического оборудования по циклу «от фундаментальных исследований - к готовому прибору». Площадь помещений центра — 830 м2. Диаметр обрабатываемых пластин — 3 дюйма (эпитаксиальный рост) и 4 дюйма (комплексная технология).

 

DSC_7516_edited.jpg
DSC_4460_edited.jpg

Сейчас Наноцентр это: более 1000 м2 чистых производственных помещений (из них: 420 м2 чистая зона класса чистоты ISO6-ISO8, 580 м2 сервисная зона);
Основной задачей центра являются исследования и разработки в области некремниевой электроники — СВЧ электроники, широкозонной, радиационно-стойкой и функциональной — СВЧ транзисторов и прототипов монолитно-интегрированных схем (МИС СВЧ) до субмм- диапазона длин волн, светодиодов и фотодетекторов, сенсоров магнитного поля и температуры. Фундаментальные исследования связаны с созданием новых наноматериалов, гетероструктур на основе A3B5, в том числе нитридных, разработкой технологий эпитаксии, нанолитографии с топологической нормой до 50 нм для формирования квантовых устройств и нанотранзисторов. Ведутся также исследования и анализ свойств материалов, начиная исследования кристаллической структуры в объеме и на поверхности, заканчивая электронными и оптическими свойствами. Для этого в Центре имеются исследовательские лаборатории, оснащенные новейшим зарубежным и отечественным оборудованием.